产品简介
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白光干涉3D表面测量仪：
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
详细介绍
基于白光干涉测量技术，通过分析被测表面反射光与参考光形成的干涉条纹，实现纳米级精度的三维形貌重建。其工作原理是：光源发出的光经过扩束准直后，经分光棱镜分成两束，一束射向被测表面，另一束射向参考镜，两束反射光最终汇聚并发生干涉，形成干涉条纹。显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来计算表面三维形貌。非接触式测量方式避免了对样品表面的物理损伤，特别适用于精密光学元件、半导体晶圆等敏感材料检测。
白光干涉3D表面测量仪技术参数：
软件介绍
3D测量软件平台集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的模块化功能，能够适配所有3D仪器机型，可自主识别机型种类，二合一机 型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。 Xtremevision Pro 移植了影像闪测领域的成功经验，重构了显微影像测量功能，可针对微观平面 轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。
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