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微孔形貌测量仪是面向微米、亚微米级微孔结构的精密检测设备,多采用激光共聚焦、白光干涉等非接触光学原理,可同步获取微孔二维图像与三维形貌数据,精准表征孔径、孔深、圆度、孔壁粗糙度、孔隙分布等参数,广泛解决传统显微镜、接触式探针在微小孔洞检测中易损伤样品、景深不足、效率偏低等难题。设...
微孔形貌测量仪是面向微米、亚微米级微孔结构的精密检测设备,多采用激光共聚焦、白光干涉等非接触光学原理,可同步获取微孔二维图像与三维形貌数据,精准表征孔径、孔深、圆度、孔壁粗糙度、孔隙分布等参数,广泛解决传统显微镜、接触式探针在微小孔洞检测中易损伤样品、景深不足、效率偏低等难题。设...
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