平坦度仪产品特点

　　平坦度仪为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

　　平坦度仪也成为平面度测量仪、平整度仪等，为精密部件的制造商提供了业界*的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。Flatmaster 100平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。

　　平坦度仪产品特点：

　　1）无接触和无损伤测量

　　2）适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

　　3）适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂

　　4）适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

　　平坦度仪多种不同指标：

　　1）厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓

　　2）完整的分析系统

　　3）三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

　　4）可以实现自动、快速、准确、稳定的测量

　　5）超过15年的工业应用，几百台的装机量