球面和非球面测量机，用于光学元件表面形状和外形测量的非接触式三维光学轮廓仪。它专为旋转对称表面的超精密非接触式3D形状测量而设计，例如非球面、球面、平面和自由曲面光学透镜。

一、 球面和非球面测量机介绍：

非接触式表面轮廓测量仪用于光学元件表面形状和外形测量的非接触式三维光学轮廓仪。它专为旋转对称表面的超精密非接触式3D形状测量而设计，例如非球面、球面、平面和自由曲面光学透镜。非接触式三维光学轮廓仪可对高偏差非球面和自由曲面等具有挑战性的表面的半径和不规则度进行最高精度的非接触式三维轮廓测量。对非球面和自由曲面进行超高精度地快速轮廓测量，在高达 90°的采样斜率上精度优于 50 nm (3σ) 。可测量坡度高的表面、具有不同间距方向的表面、极小的表面例如手机镜头模具。

非接触式3D表面精密检测仪，更适用于大口径的精加工光学工件的检测，用于对非球面透镜、球面、平面和轻微自由曲面等旋转对称表面（光学器件）进行超高精密非接触式三维表面形状测量。其优点包括测量速度快，对一些特殊的表面形状（如平顶或带有拐点的轮廓）具有高度灵活性

二、球面和非球面测量机优势

1、非接触测量、三维微纳形貌一体测量

◆ 集成厚度测量模组和三维形貌、粗糙度测量模组，使用一台机器便可完成面轮廓、粗糙度、波纹度及三维形貌的测量。

2、高精度测量技术

◆ 采用高分辨率0.05nm的多波长白光干涉传感器，可以完成超高精密的测量。

◆ 基于所采用的FDM3传感器技术的绝对测量能力，该计量仪器还可检测非连续光学元件，例如分段表面、环形透镜、非球面衍射透镜以及轴锥透镜。还可以扩展模块可测定透镜厚度、楔形误差及偏心误差。其软件还可

用于（全自动）分析光学表面相对于用户定义参考表面的定位情况，例如透镜周边、任何透镜卡口或模具筒体等

3、操作简单、轻松无忧

◆集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前准备工作。

◆具备双重防撞设计，避免误操作导致的物镜与待测物因碰撞而发生的损坏情况。

三、工作原理