
产品简介
相关文章
LAMTECH平面度测量机采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估,广泛应用于半导体行业(Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces),以及光学工程,激光工程等领域。
LAMTECH平面度测量机特点:
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估:<0.4µm
◆ 测量速度快:<3秒
◆ 可用于车间现场,全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件,可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统,或手动区域(圆、圆环、矩形区域)评估
◆ 数据采集量大,一次完成对300,000点的评估
◆ 快速生成报告并保存为csv数据格式,支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光,研磨或细磨精密表面,像阀门盘,密封环等