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LAMTECH平面度测量机
产品简介

LAMTECH平面度测量机采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估,广泛应用于半导体行业(Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces),以及光学工程,激光工程等领域。

产品型号:
更新时间:2026-04-24
厂商性质:经销商
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LAMTECH平面度测量机采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估,广泛应用于半导体行业(Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces),以及光学工程,激光工程等领域。

LAMTECH平面度测量机特点:

◆ 非接触式平面度测量接触

◆ 高精密评估:<0.4µm

◆ 测量速度快:<3秒

◆ 可用于车间现场,全检

◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)

◆ 三维形貌评估软件,可支持CNC编程批量检测

◆ 表面自动识别系统,或手动区域(圆、圆环、矩形区域)评估

◆ 数据采集量大,一次完成对300,000点的评估

◆ 快速生成报告并保存为csv数据格式,支持Q-das等统计分析软件

◆ 广泛应用于抛光,研磨或细磨精密表面,像阀门盘,密封环等

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